PLATEFORME

Centre de compétences Dépôt et Analyse sous Ultravide de nanoMatériaux (CC Daum)

Créer des matériaux nanostructurés nouveaux et aux propriétés inédites par des techniques additives de films minces

Le CC Daum est constitué de 28 enceintes connectées entre elles par un tube de transfert de 70m le tout sous ultravide. Des dispositifs de structuration multi-matériaux en films minces sont couplés à des techniques d’analyses multi-dimensionnelles permettant de créer de toutes pièces de nouveaux matériaux nanostructurés aux propriétés inédites notamment en partenariat industriel.
Laboratoire : Institut Jean Lamour, Nancy, Meurthe-et-Moselle
Responsable scientifique : Stéphane Mangin, Daniel Pierre
Financement : ANR, Feder, État, Région

Nanotechnologies

Ultravide

Magnétisme

Couches minces

Analyses multi-dimensionnelles

Services / partenariats / applications

DAUM met ses compétences techniques et scientifiques au service des entreprises et peut vous accompagner :

  • à concevoir et réaliser couche atomique par couche atomique des dispositifs aux propriétés physiques visées
  • à  développer à l’aide de techniques variées des films minces et à les caractériser directement
  • à  former vos collaborateurs aux technologies films minces et aux nanotechnologies

 

Partenariats possibles

  • Formations sur mesure
  • Prestations de services
  • Études et partenariats industriels de recherche

Équipement principaux

  • 4 techniques UVH d’analyse et de caractérisation chimique (Auger, XPS, UPS, EBSD, ARPES)
  • 5 techniques UVH d’analyse et de caractérisation structurale (MEB, STM, AFM, RHEED, LEED)
  • 70 mètres de tunnel de transfert ultravide (MECATRANS)
  • 15 systèmes UVH d’élaboration de couches minces (6 MBE, 6 pulvérisations cathodiques DC et RF, 1 PLD, 1 ALD, 1 évaporateur sous atmosphère réactive)
  • 2 systèmes de fonctionnalisation par recuit (four à ulytavide 1200°C, four recuit rapide RTA)
  • 3 technique UHV d’analyse et de caractérisation des propriétés physiques (Effet KERR, cathodoluminescence, MOS)

Succès technologiques

  • Énergie : contribution à la mise au point d’un procédé industriel pour une nouvelle couche améliorant le rendement de panneaux solaires