PLATEFORME
Plateforme Lorraine de Micro et Nanofabrication (CC Minalor)
Accompagner les entreprises dans la conception et la réalisation des dispositifs ou procédés s’appuyant sur des micro et nanotechnologies en salle blanche
MiNaLor rassemble et développe des procédés de micro et nanofabrication et propose une expertise en micro-nano-technologies. Ces procédés, dont les lithographies optique et électronique, permettent de fonctionnaliser des matériaux ou d’en réduire les tailles latérales à une échelle micro et nanométrique.
Laboratoire : Institut Jean Lamour, Nancy, Meurthe-et-Moselle
Responsable scientifique : Juan Carlos Rojas-Sanchez
Financement : Région Grand Est, FEDER, CPER, ANR
Nanotechnologies
Nanofabrication
Fonctionnalisation
Litographie
Services / partenariats / applications
- Réaliser des dispositifs micro ou nano-électroniques (top-down)
- Développer des systèmes de micro fluidiques
- Mettre au point des système de type Lab on Chip
- Fabriquer des capteurs avec des micro antennes
- Réaliser des dispositifs d’électronique de spin (jonctions tunnel, dispositifs à paroi)
- Développer des membranes piézoélectriques
Partenariats possibles
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Équipement principaux
- 250 m² de salles blanches
- Équipement de lithographie optique sans masque SmartPrint
- Appareil de lithographie électronique Raith 150-2
- Microscope électronique à balayage ZEISS Gemini 1
- Équipement de Gravure ionique par faisceaux d’ions IBE 4Wave, assisté d’un spectromètre de masse d’ions secondaires SIMS Hiden
- Bâti de dépôt par pulvérisation cathodique KENOSISTEC KS 400 HR
- Bâti de dépôt par évaporation avec technologie à canon à électron PLASSYS MEB400 S
- Découpe à fils horizontale, verticale et découpe à disque Profilomètre mécanique Tencor P6
- Aligneur de masque pour lithographie optique Suss MicroTec MJB4
- Micro Diamond Scriber MR200
- Équipement de Plasma O2 Tucano
- 3 microscopes optiques Leica
Succès technologiques
- Aménagement et construction : conception intégration électronique de capteurs pour contrôle qualité bêton
- Énergies : développement de mémoires magnétiques non volatiles pour le stockage d’informations
- Énergies : intégration de dispositifs de thermoélectricité
- Industrie : capteurs magnétiques pour systèmes de roulement
- Santé : capteurs sans fils et sans alimentation pour mesures de données biométriques sur la peau
- Santé : systèmes « organ on chip » pour nouveaux traitements anti cancéreux
Domaines d'intervention liés
